涡轮分子泵的使用环境条件和维护管理方法

涡轮分子泵通常与离子泵、升华泵或低温凝结泵结合使用，以排除氢、氦和其他不容易排除的惰性气体，以避免不必要的浪费，而不是单独的小流量和大泵送速率。磁力泵属于水泵领域的一个分支，是一种将永磁联轴的工作原理应用于离心泵的新产品。磁力泵由泵、磁力传动器、电动机三部分组成。不锈钢泵适用于矿山、工厂和城市给排水工程之用。供输送固体颗粒不大于2%(粒度小于1mm)，介质固体浓度小于5%wt。衬氟泵采用后开门结构，一人便可轻松进行内部日常检修和零件更换，无需拆卸泵进出口管道．实际使用显示该泵具有耐腐、耐磨、机械强度高、运转平稳、结构先进合理、密封性能可靠、拆卸检修方便、使用寿命长等优点。

1.涡轮分子泵的运用性能与前级泵的关系

当涡轮叶片之间气体分子的平均自由程减少到叶片之间距离的十分之一时，分子之间会发生过多的碰撞，从而影响气体的传输。一般来说，高真空入口处的涡轮叶片不会出现这种情况，因为它们在低压下工作，但是出口附近的叶片通常处于这种过渡流动中。为了提高涡轮分子泵的使用性能，出水口必须配备一个工作压力高达10-4托换转速的大型泵。

2.防止涡轮分子泵回油

为防止由于涡轮进行分子泵本身发展以及前级泵的油蒸气进入一个涡轮分子泵的高真空端。

打开前使用前泵至支架2，然后启动涡轮分子泵。停机时，空气从进口泄漏到5支架压力，在汽轮机分子泵停止转动泵后关闭出口阀和机械泵，使汽轮机分子泵内的压力上升到大气压力，减少轴承光滑油的反向扩散。或涡轮分子泵与前泵同时关闭，关闭它们之间的阀门，在涡轮分子泵停止转动后，将空气从高真空端（或从空气到泵中间的大气压）泄漏。

涡轮分子泵工作时，不要在关闭出口阀的情况下漏气，以免泵内压力突然上升到10托以上。否则气体会被压到出口端，因为没有出路而被反射。部分气体会进入轴承的润滑部分将油卷出进入泵内，进入高真空端，造成严重回油。

可以在涡轮泵和前面的泵之间插入一个陷阱，以防止油蒸气从机械泵中返回。

立式涡轮分子泵的真空系统结构简单，在对旧的扩散泵系统进行改造时，无需改变真空系统的结构，即可直接替代扩散泵。其次，泵内只有一套涡轮叶片，所以价格较低。

3.立式安装涡轮进行分子泵的缺点：

（1）泵口垂直向上，各种碎屑颗粒容易落入泵体内，造成损坏。因为还没有确定保护网可以小到小颗粒不能通过的程度，所以在泵口添加保护网仍然不能完全避免。

(2)当泵内压强发生突然出现上升发展至大气压强时，轴向会经受到了很大的冲力。

(3)在一般的立式泵中，转子的质心不在两个轴承的中间，而是靠近一个轴承甚至跑出两个轴承，轴承、支承和整个转子的平衡略有变化，容易产生振动。这种情况很容易出现不稳定。

(4)中心轴承的更换非常困难，必须将整个转子取出拆卸，更换的轴承可能与转子的自然转动中心不匹配，造成不平衡。

卧式泵能克服立式分子泵的基本没有缺点。但卧式泵有两组进行涡轮叶片，体积大，外壳以及形状比较复杂，因而工程造价也较高。

4.

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